OM外觀檢查機

設備特徵

  • 4,6吋共用。
  • 可設定目檢角度。
  • Wafer全自動移載。
  • Wafer適用翹區0-1000um。
  • 破片率≦1/20,000。
  • 手動位移角度檢測區。
  • CCD照相儲存功能。