습식 식각 공정에 적용되며, 웨이퍼의 불필요한 박막을 제거합니다. 나노급 미스트 노즐과 독자적인 특허 회전 기술을 결합하여 약액 반응 속도를 향상시키고, 약액 분사 방향을 효과적으로 제어하여 약액 사용량을 절감하며 식각 균일성과 생산성을 높이고 측면 식각 현상을 줄일 수 있습니다.
고객의 공정 요구에 따라 다수의 약액 노즐을 제공할 수 있으며, 약액 공급 및 혼산 시스템 또한 요구 사항에 맞추어 설계가 가능합니다.